에어퍼스트 자회사, 中 G-gas와 반도체용 ASU 국산화

에어퍼스트의 100% 자회사인 AF E&C가 중국의 고순도 질소 설비 전문기업 G-gas(Guanggang Gases Engineering)와 전략적 업무협약(MOU)을 체결하고, 국내 반도체 제조 환경에 맞춘 공기분리장치(ASU·대기 중 공기를 분리해 질소 등을 뽑아내는 설비) 국산화에 나선다.

中 기술·국내 엔지니어링 결합

반도체 공정에서 질소는 웨이퍼가 산소와 반응해 산화·오염되는 것을 막기 위해 각 공정 사이를 채우는 불활성 기체로 대량 쓰인다. 미세공정이 고도화할수록 질소의 순도 기준도 높아져, 이를 안정적으로 대량 생산·공급하는 ASU의 성능이 반도체 수율에 직결된다.

두 회사는 이번 협약으로 초고순도 질소 생산·공급 설비를 공동 개발해 국내 시장에 공급할 계획이다. G-gas가 자체 개발한 'Super-N' 기술과 기본설계를 제공하고 주문자상표부착생산(OEM) 방식으로 설비를 제작하면, AF E&C가 국내 반도체 고객의 요구사항을 반영한 상세설계와 엔지니어링, 설계·조달·시공을 뜻하는 EPC를 수행하는 방식이다. AF E&C는 공정흐름도(PFD)와 배관계장도(P&ID), 주요 장비의 구성·사양을 구체화하고 국내 고객사의 운전 환경과 유지보수 편의성을 반영해 설비의 안전성과 운영 효율성을 높일 계획이다.

"해외 기술, 국내 환경에 맞게 내재화"

양사는 국내 반도체 제조시설이 요구하는 초고순도 품질 기준과 무중단 운영 요건을 충족하는 ASU 개발에 착수했다. 양한용 에어퍼스트 대표는 "이번 협력은 G-gas의 검증된 기술과 AF E&C의 ASU 엔지니어링 역량을 결합해 국내 반도체 제조 환경에 최적화된 ASU를 공동 개발하고 국산화를 추진한다는 데 의미가 있다"고 말했다. 에어퍼스트는 이번 협력을 계기로 ASU 설계·엔지니어링 역량을 내재화하고 국내 공급체계를 단계적으로 확대할 방침이다.

자료: 에어퍼스트